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必要解像性能(L/S、開口径)および、ご使用予定レジスト
必要アライメント重ね合せ精度(裏面アライメントマーク観察の有無も合わせてご記入ください)
自由記述欄(特定の安全規格の適用、アライメントマークの情報、お使いのウェハ(パネル)が規格外の場合、内容をご記載ください)
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